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型號(hào)：Agilent TwisTorr 304 FS
特點(diǎn)：Agilent TwisTorr 304 FS 高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。
市場(chǎng)價(jià)：￥咨詢
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Agilent TwisTorr 304 FS 高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng)，并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，最大程度縮短系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并能確保長時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 304 FS 泵獨(dú)有的軸承和干式潤滑劑設(shè)計(jì)，使得泵無需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
特性：
典型渦輪泵應(yīng)用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到更高性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 |
|
|
| 科研中的真空應(yīng)用 |
|
|
| 工業(yè)真空加工 |
|
薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
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| 納米技術(shù)儀器 |
|
|
性能指標(biāo)
技術(shù)規(guī)格
|
抽速： 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160： |
N2：250 L/s
N2：250 L/s
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He：255 L/s
He：255 L/s
|
H2：220 L/s
H2：220 L/s
|
Ar：250 L/s
Ar：250 L/s
|
|
全轉(zhuǎn)速最大氣載（使用推薦前級(jí)泵） 環(huán)境溫度 (25 °C) 水溫 (25 °C，50 L/h) |
N2：170 sccm N2：170 sccm |
Ar：110 sccm Ar：110 sccm |
||
| 壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系： |
N2：> 1 × 1011 N2：> 10 mbar |
He：> 1 × 108 H2：> 10 mbar |
H2：1.5 × 106 H2：> 4 mbar |
Ar：> 1 × 1011 Ar：> 10 mbar |
| 極限真空*（使用推薦的前級(jí)泵） (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
| 抽氣口法蘭 |
8 英寸外徑 CFF 2.6 英寸外徑 CFF |
ISO 160 ISO 100 |
||
| 前級(jí)管道法蘭 | KF 16 NW（KF25 — 可選） | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 60000 rpm（1010 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率） | |||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 小于 3 分鐘 | |||
| 推薦的前級(jí)泵 |
機(jī)械：Agilent DS 102 干泵：Agilent SH 110 |
|||
| 工作位置 | 任意 | |||
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空氣相對(duì)濕度 | 0%–90%（無冷凝） | |||
| 烘烤溫度 | 抽氣口法蘭最高溫度 120 °C（CFF 法蘭）抽氣口法蘭最高溫度 80 °C（ISO 法蘭） | |||
| 潤滑油 | 永久性潤滑 | |||
| 冷卻要求 |
風(fēng)扇冷卻（環(huán)境溫度 5–35 C） 水冷（如果環(huán)境高于 35 ℃，需強(qiáng)制水冷） |
|||
| 冷卻水 |
最小流速： 50 L/h (0.89 GPM) |
溫度： +15 ℃ 至 +30 ℃ |
壓力： 3 至 5 bar（45 至 75 psi） |
|
| 噪聲聲壓級(jí) | 在 1 米處，< 50 dB(A) | |||
| 儲(chǔ)存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 最高海拔 | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅）： |
泵 ISO 100：
5.5 (12.3) |
泵 CFF 6 英寸：
7.5 kg (16.5) |
泵 ISO 160：
5.7 kg (12.6) |
泵 CFF 8 英寸：
9.7 kg (20.9) |
